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发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH09148437(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19950326444 申请日期 1995.11.20
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KATO KAZUTOSHI;IKEDA MUTSUO;TAKAHATA KIYOTO;MURAMOTO YOSHIFUMI
分类号 H01L29/41;H01L21/768;H01L23/522;H01L31/10;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
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