| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09148323(A) |
申请公布日期 |
1997.06.06 |
| 申请号 |
JP19960065621 |
申请日期 |
1996.03.22 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
MUROYAMA MASAKAZU;KITOU HIDEYOSHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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