METHOD FOR CONTROLLING MOVEMENT OF SUBSTRATE STAGE OF ALIGNER AND DEVICE,申请号JP19950328281-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR CONTROLLING MOVEMENT OF SUBSTRATE STAGE OF ALIGNER AND DEVICE
摘要
申请公布号	JPH09148236(A)	申请公布日期	1997.06.06
申请号	JP19950328281	申请日期	1995.11.22
申请人	NIKON CORP	发明人	OTA KAZUYA
分类号	G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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