发明名称 MANUFACTURE OF MULTILAYER WIRING TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54112185(A) 申请公布日期 1979.09.01
申请号 JP19780020085 申请日期 1978.02.22
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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