发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH09148331(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19950301154 申请日期 1995.11.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHIDA IKUO
分类号 H05K1/09;C23C18/52;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H05K1/09
代理机构 代理人
主权项
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