发明名称 LASER DEVICE FOR LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH09146135(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19960007794 申请日期 1996.01.19
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 SUGAWARA TAMOTSU;KOMATSU RYUICHI;TAKAHASHI MASAKUNI
分类号 G02F1/35;G02F1/355;G02F1/37;(IPC1-7):G02F1/37 主分类号 G02F1/35
代理机构 代理人
主权项
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