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发明名称 Fremgangsmåter og anordning for fjerning av overflateforurensninger ved bestråling fra en höyenergikilde
摘要
申请公布号 NO180739(C) 申请公布日期 1997.06.04
申请号 NO19910000067 申请日期 1991.01.07
申请人 ENGELSBERG, AUDREY C. 发明人 ENGELSBERG, AUDREY C.
分类号 H01L21/302;B08B7/00;B23K26/14;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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