发明名称 Substrate structure for composite semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0323856(B1) 申请公布日期 1997.06.04
申请号 EP19890100183 申请日期 1989.01.05
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KITAHARA, KOICHI;NATSUME, YOSHINORI;HOSOKI, YOSHINORI
分类号 H01L27/06;H01L21/762;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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