| 发明名称 |
BI-BASED FERROELECTRIC THIN FILM AND ITS FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09142845(A) |
申请公布日期 |
1997.06.03 |
| 申请号 |
JP19950310815 |
申请日期 |
1995.11.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
ATSUGI TSUTOMU;YONEZAWA MASA;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C01G33/00;C01G1/00;H01B3/12;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/02;H01L21/8246;H01L27/105;(IPC1-7):C01G33/00 |
主分类号 |
C01G33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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