发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09139423(A) 申请公布日期 1997.05.27
申请号 JP19950293855 申请日期 1995.11.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 ENOMOTO HIROYUKI;FUNATSU YOSHIAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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