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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09137275(A) 申请公布日期 1997.05.27
申请号 JP19960311203 申请日期 1996.11.08
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 INUSHIMA TAKASHI;HIROSE NAOKI;TASHIRO MAMORU;YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C30B25/02;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C30B29/04;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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