发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134887(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950289575 申请日期 1995.11.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HACHITANI TAKAYO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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