| 发明名称 |
APPARATUS FOR EXECUTION OF LASER BEAM EXPOSURE TREATMENT TO DISK-SHAPED SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09128777(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19960259728 |
申请日期 |
1996.09.30 |
| 申请人 |
BARUTSUAASU & LEYBOLD DOICHIYURANTO HOLDING AG |
发明人 |
BERUNTO HENZERU;FURIIDORITSUHI HOOFUMAN;HERUMAN KOOPU;RARUFU ZUYUUSU |
| 分类号 |
G11B7/09;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/09 |
主分类号 |
G11B7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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