发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09129169(A) 申请公布日期 1997.05.16
申请号 JP19950282846 申请日期 1995.10.31
申请人 NIKON CORP 发明人 TOKUSHIMA SHINOBU
分类号 H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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