Verfahren zur Herstellung einer Diamantschicht mit homogenisiertem Schichtdickenprofil und daraus hergestellte Diamantfenster und -membranen,申请号DE19951042366-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Diamantschicht mit homogenisiertem Schichtdickenprofil und daraus hergestellte Diamantfenster und -membranen
摘要
申请公布号	DE19542366(A1)	申请公布日期	1997.05.15
申请号	DE19951042366	申请日期	1995.11.14
申请人	PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH, 22335 HAMBURG, DE	发明人	BACHMANN, PETER KLAUS, DR.-ING., 52146 WUERSELEN, DE;WIECHERT, DETLEF UWE, DIPL.-PHYS., 52477 ALSDORF, DE;KANETKAR, SUBHASH M., DR., POONA, IN
分类号	C30B29/04;C23C16/04;C23C16/26;C23C16/27;(IPC1-7):C23C14/04;C23C14/06	主分类号	C30B29/04
代理机构		代理人
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