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发明名称 Laserablationprozess zum Herstellen supraleitender Dünnschichten aus oxydisch supraleitendem Verbindungsmaterial und Gerät zur Durchführung des Prozesses
摘要
申请公布号 DE69218835(D1) 申请公布日期 1997.05.15
申请号 DE1992618835 申请日期 1992.06.12
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 NAGAISHI, TATSUOKI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOM, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;OTA, NOBUHIRO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;FUJIMORI, NAOJI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 C23C14/08;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/28;C30B29/22;H01B12/06;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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