| 发明名称 |
Apparatus for depositing a uniform layer of material on a substrate. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0664347(A3) |
申请公布日期 |
1997.05.14 |
| 申请号 |
EP19950100994 |
申请日期 |
1995.01.25 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SAHIN, TURGUT;CHEUNG, DAVID |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/44 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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