| 发明名称 |
Method of producing MOS devices. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0608745(A3) |
申请公布日期 |
1997.05.14 |
| 申请号 |
EP19940100602 |
申请日期 |
1994.01.17 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED |
发明人 |
FUJIMAKI, NOBUYOSHI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/3215;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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