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发明名称 METHOD OF OPERATING A CLAW-TYPE VACUUM PUMP, AND A CLAW-TYPE VACUUM PUMP SUITABLE FOR CARRYING OUT THE METHOD
摘要
申请公布号 EP0663045(B1) 申请公布日期 1997.05.14
申请号 EP19930919226 申请日期 1993.08.31
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KOBUS, ANDREAS;GOTTSCHLICH, UWE;BRENNER, LOTHAR;KRIEHN, HARTMUT
分类号 F04C25/02;F04C18/12;F04C23/00;F04C29/04;(IPC1-7):F04C29/04 主分类号 F04C25/02
代理机构 代理人
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