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发明名称
SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH09125246(A)
申请公布日期
1997.05.13
申请号
JP19950284184
申请日期
1995.10.31
申请人
SONY CORP
发明人
CHIBA TAKASHI;KOJIKA YUKIHIRO
分类号
C23C14/35;C23C14/56;G11B5/84;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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