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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09125251(A) 申请公布日期 1997.05.13
申请号 JP19950308233 申请日期 1995.11.01
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 USHIGAWA HARUNORI
分类号 C23C16/46;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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