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发明名称
摘要
申请公布号 JP2606430(B2) 申请公布日期 1997.05.07
申请号 JP19900264361 申请日期 1990.10.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/208;H01L21/02;H01L21/322;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
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