| 发明名称 |
MANUFACTURE OF DIAMOND LIKE CARBON THIN FILM AND DISSIMILAR ATOM SUBSTITUTED DIAMOND LIKE CARBON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09118976(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19950320077 |
申请日期 |
1995.12.08 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;MATSUI TAKEO;OKI YOSHIMASA |
发明人 |
MATSUI TAKEO;OKI YOSHIMASA;YUDASAKA MASAKO |
| 分类号 |
B23B27/14;B23P15/28;C23C14/06;C23C14/28;C23C16/26;C23C16/27;C30B23/00;C30B25/00;C30B29/04;C30B29/06;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
B23B27/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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