发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH09119689(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19950277388 申请日期 1995.10.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 YASHIKI TAKASHI;IWABORI YASUO;URAYAMA MITSUNOBU;OKAMOTO AKIRA
分类号 F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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