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经营范围
发明名称
CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
JPH09119689(A)
申请公布日期
1997.05.06
申请号
JP19950277388
申请日期
1995.10.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
YASHIKI TAKASHI;IWABORI YASUO;URAYAMA MITSUNOBU;OKAMOTO AKIRA
分类号
F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/06
主分类号
F24F7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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