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发明名称 MOVABLE ION ISOLATION SYSTEM FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH09120938(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19950278010 申请日期 1995.10.25
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NAKAZAWA YOSHIYUKI
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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