发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09115881(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19950267117 申请日期 1995.10.16
申请人 NEC CORP 发明人 MIZUTANI HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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