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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09116003(A) 申请公布日期 1997.05.02
申请号 JP19950268549 申请日期 1995.10.17
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMASHITA YASUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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