发明名称 半导体热电材料的制造方法及设备
摘要 一种半导体热电材料的制造方法及设备,其特征是作为半导体热电器件中热电臂用的半导体热电材料为p型和n型半导体晶球,晶球分别以铋、碲、硒和铋、锑、碲为原料,经熔融、熔滴冷凝、热处理制成;其专用设备设有带液滴喷管的石英容器,与石英容器相连接的冷却器,分别与石英容器、冷却器相连接的气体保护装置和真空系统。应用本方案,可明显减小热电臂尺寸,增加热电器件单位制冷量,减少原料损耗,简化操作,提高热电臂的质量和成品率,降低热电器件制造成本。
申请公布号 CN1148735A 申请公布日期 1997.04.30
申请号 CN95113361.6 申请日期 1995.12.10
申请人 浙江大学 发明人 姚奎鸿;胡东浩;张焕林
分类号 H01L35/34;H01L37/00 主分类号 H01L35/34
代理机构 浙江大学专利代理事务所 代理人 连寿金
主权项 1.一种半导体热电材料的制造方法,作为半导体热电器件用的半导体热电材料p型电偶臂[P]的基本原料为铋、碲和锑,n型电偶臂[N]的基本原料为铋、碲和硒,按照常规的配比,经过熔融成晶,其特征在于:将原料按配比熔融、混和、成滴、凝固,形成晶球,其中材料熔融、成滴、凝固的保护气体为高纯度惰性气体或氮气,原料起始熔化温度为合金熔点以上30-50℃,通过液滴喷管射流的温度为合金凝固点以上5-20℃,冷却液温度在室温到60℃间选择,保持恒温;射流速度0.5-2米/秒,对射流施加振动50-1000Hz。
地址 310027浙江省杭州市玉古路20号