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发明名称 Zerstörungsfreie Untersuchung der Eigenschaften eines Plasmabehandlungsprozesses
摘要
申请公布号 DE69401248(T2) 申请公布日期 1997.04.24
申请号 DE19946001248T 申请日期 1994.08.26
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US 发明人 MATOSSIAN, JESSE N., CANOGA PARK, CA 91306, US;VAJO, JOHN J., CALABASAS, CA 91302, US
分类号 G01N21/59;C23C14/00;C23C14/22;C23C14/48;C23C14/54;G01N27/04;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 G01N21/59
代理机构 代理人
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