| 发明名称 |
Charged particle beam apparatus, ionpump and method of pumping |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0523699(B1) |
申请公布日期 |
1997.04.23 |
| 申请号 |
EP19920112170 |
申请日期 |
1992.07.16 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
OTAKA, TADASHI;ICHIHASHI, MIKIO |
| 分类号 |
G01Q60/00;H01J37/073;H01J37/18;H01J41/12;(IPC1-7):H01J37/18 |
主分类号 |
G01Q60/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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