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发明名称
摘要
申请公布号 JP2603342(B2) 申请公布日期 1997.04.23
申请号 JP19890255525 申请日期 1989.09.29
申请人 发明人
分类号 C30B25/02;C30B25/18;C30B29/06;C30B29/60;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/18 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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