| 发明名称 |
ALIGNING AND ILLUMINATING DEVICE AND METHOD, WHICH ALIGN ANDILLUMINATE OBJECT FOR INSPECTING APPARATUS FOR MEASURING DEVIATION OF CENTRAL CHARACTERISTIC PART OF OHJECT WITHOUT CONTACT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09105610(A) |
申请公布日期 |
1997.04.22 |
| 申请号 |
JP19960200893 |
申请日期 |
1996.07.31 |
| 申请人 |
A T & T I P M CORP |
发明人 |
ANDOREI SHIPUKUSU;JIYON MAAKU PARUMUKUISUTO |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B21/00;G02B6/38;G02B6/42;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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