发明名称 Automatische mit hoher Geschwindigkeit arbeitende optische Prüfungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69028274(T2) 申请公布日期 1997.04.17
申请号 DE19906028274T 申请日期 1990.10.31
申请人 KLA INSTRUMENTS CORP., SAN JOSE, CALIF., US 发明人 CHADWICK, CURT H., LOS GATOS, CA 95032, US;SHOLES, ROBERT H., BOULDER CREEK, CA 95006, US;GREENE, JOHN D., SANTA CRUZ, CA 95062, US;TUCKER, FRANCIS D. III, SAN CARLOS, CA 95062, US;FEIN, MICHAEL E., MOUNTAIN VIEW, CA 94040, US;JANN, P.C., SANTA CLARA, CA 95050, US;HARVEY, DAVID J., CAMPBELL, CA 95008, US;BELL, WILLIAM, SAN JOSE, CA 95123, US
分类号 G06T7/00;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/309;G01R31/311;G06T1/00;(IPC1-7):G01N21/88;G01R31/308;G06T7/60 主分类号 G06T7/00
代理机构 代理人
主权项
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