| 发明名称 |
A source of photochemically generated acid for microelectronic photoresists |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0614120(B1) |
申请公布日期 |
1997.04.16 |
| 申请号 |
EP19940300058 |
申请日期 |
1994.01.06 |
| 申请人 |
MORTON INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
KOES, THOMAS A. |
| 分类号 |
C09K3/00;C07C309/71;C07C309/76;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/031;G03F7/039;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022;C07C205/19 |
主分类号 |
C09K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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