发明名称 Optical displacement sensor.
摘要
申请公布号 EP0679870(A3) 申请公布日期 1997.04.16
申请号 EP19950106255 申请日期 1995.04.26
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIZUKA, KOH;KANEDA, YASUSHI
分类号 G01B11/00;G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/38 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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