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发明名称 Process monitor circuit and method
摘要
申请公布号 EP0476871(B1) 申请公布日期 1997.04.16
申请号 EP19910307954 申请日期 1991.08.30
申请人 LSI LOGIC CORPORATION 发明人 GASCOYNE, WILLIAM H.
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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