发明名称 Assembly comprising a device for producing a clean and poor in turbulences air current and a device with local clean-room
摘要 <p>Bei einer Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume besteht die Aufgabe, die Bautiefe einer Luftaufbereitungsanlage zu verringern und außerdem in einfacher Weise eine Schwingungsübertragung von luftstromerzeugenden Mitteln auf eine zu versorgende Geräteeinheit weitgehend zu vermeiden. Gemäß der Erfindung ist einem, in einer Plenumkammer untergebrachten Filter an der Seite des Eintrittes ungereinigter Luft die Plenumkammerwand benachbart, die einer Auslaßöffnung in der Plenumkammer gegenüberliegt. Zwischen der Wand und dem Filter bleibt ein Raum frei, der mit dem übrigen Raum der Plenumkammer in Verbindung steht und der vorwiegend zur Ausbildung des Plenums dient. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise anwendbar. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP0768498(A2) 申请公布日期 1997.04.16
申请号 EP19960107219 申请日期 1996.05.07
申请人 JENOPTIK AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHNEIDER, HEINZ;SCHULTZ, KLAUS
分类号 F24F7/007;F24F3/16;F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/00 主分类号 F24F7/007
代理机构 代理人
主权项
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