发明名称 |
Assembly comprising a device for producing a clean and poor in turbulences air current and a device with local clean-room |
摘要 |
<p>Bei einer Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume besteht die Aufgabe, die Bautiefe einer Luftaufbereitungsanlage zu verringern und außerdem in einfacher Weise eine Schwingungsübertragung von luftstromerzeugenden Mitteln auf eine zu versorgende Geräteeinheit weitgehend zu vermeiden. Gemäß der Erfindung ist einem, in einer Plenumkammer untergebrachten Filter an der Seite des Eintrittes ungereinigter Luft die Plenumkammerwand benachbart, die einer Auslaßöffnung in der Plenumkammer gegenüberliegt. Zwischen der Wand und dem Filter bleibt ein Raum frei, der mit dem übrigen Raum der Plenumkammer in Verbindung steht und der vorwiegend zur Ausbildung des Plenums dient. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise anwendbar. <IMAGE></p> |
申请公布号 |
EP0768498(A2) |
申请公布日期 |
1997.04.16 |
申请号 |
EP19960107219 |
申请日期 |
1996.05.07 |
申请人 |
JENOPTIK AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHNEIDER, HEINZ;SCHULTZ, KLAUS |
分类号 |
F24F7/007;F24F3/16;F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/00 |
主分类号 |
F24F7/007 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|