| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR MULTILAYER FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09102487(A) |
申请公布日期 |
1997.04.15 |
| 申请号 |
JP19950257824 |
申请日期 |
1995.10.04 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
MARUTANI YUKITOSHI;SAWARA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/306;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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