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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09102539(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950258668 申请日期 1995.10.05
申请人 NEC CORP 发明人 MORITA TOMOTAKE
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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