| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09100197(A) |
申请公布日期 |
1997.04.15 |
| 申请号 |
JP19960189422 |
申请日期 |
1996.07.18 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SATO NOBUHIKO;YONEHARA TAKAO |
| 分类号 |
C30B29/06;H01L21/02;H01L21/205;H01L27/12;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
