发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09102543(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950282475 申请日期 1995.10.03
申请人 SONY CORP 发明人 NEGISHI KUNIAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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