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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09102503(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950282388 申请日期 1995.10.05
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAZAKI TORU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822;H01L21/824 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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