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发明名称 Verfahren zur Erhoehung der Beschichtungsrate in einem Plasmaentladungsraum und Plasmakammer.
摘要
申请公布号 CH687987(A5) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 CH19930001344 申请日期 1993.05.03
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MURALT, PAUL-RENE;SCHMITT JACQUES, DR.-ING.
分类号 C23C14/54;B65G49/07;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/205;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/54;C23C14/56 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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