发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERELEMENTEN, INSBESONDERE VON DIODEN
摘要
申请公布号 DE59108592(D1) 申请公布日期 1997.04.10
申请号 DE19915008592 申请日期 1991.11.07
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 SPITZ, RICHARD, D-7410 REUTLINGEN 17, DE;GOEBEL, HERBERT, D-7410 REUTLINGEN 17, DE;WILLMANN, MARTIN, D-7410 REUTLINGEN, DE;DENNER, VOLKMAR, D-7417 PFULLINGEN, DE;BIALLAS, VESNA, D-7410 REUTLINGEN, DE;BARTH, STEPHAN-MANUEL, D-82194 GROEBENZELL, DE
分类号 H01L21/18;H01L21/98;H01L25/07;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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