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发明名称 CARTRIDGE EXCIMER LASER SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0758496(A4) 申请公布日期 1997.04.09
申请号 EP19950917592 申请日期 1995.04.18
申请人 AUTONOMOUS TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 FREY, RUDOLPH, W.;BOLEN, PHILIP, D.
分类号 H01S3/03;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/22;H01S3/223 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
主权项
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