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发明名称 Depositing multiple layer optical coatings using an ion beam source and atom sources
摘要
申请公布号 GB2305440(A) 申请公布日期 1997.04.09
申请号 GB19960019912 申请日期 1996.09.24
申请人 * GEC-MARCONI LIMITED 发明人 ROGER * HILL
分类号 C23C14/00;C23C14/46;(IPC1-7):C23C14/00;H01J27/16;H01J37/08 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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