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发明名称 INSPECTION DATA AGGREGATING DEVICE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0997823(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950251473 申请日期 1995.09.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAKINUMA HIDENORI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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