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发明名称 SUBSTRATE ROTARY-TYPE DEVELOPING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0997757(A) 申请公布日期 1997.04.08
申请号 JP19950276376 申请日期 1995.09.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SUGIMOTO KENJI;OKUDA SEIICHIRO;YOSHII HIROYUKI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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