发明名称 |
ION BEAM GENERATING DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0997571(A) |
申请公布日期 |
1997.04.08 |
申请号 |
JP19950276987 |
申请日期 |
1995.09.28 |
申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MATSUDA YASUHIRO;KISHIDA SHIGEAKI |
分类号 |
C23C14/48;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/203;H01L21/22;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/16 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|