| 发明名称 |
RESIST COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0990613(A) |
申请公布日期 |
1997.04.04 |
| 申请号 |
JP19950242033 |
申请日期 |
1995.09.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NAMIKI TAKAHISA;YANO EI;WATABE KEIJI;NOZAKI KOJI;IGARASHI YOSHIKAZU;KURAMITSU YOKO |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/032;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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